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项目 |
参数 |
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仓储型号 |
i-Stock Semi Wafer stocker |
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外型尺寸 |
L4465*W2200*H2500 (可定制) |
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物料种类 |
wafer |
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wafer规格 |
4/6/8/12寸 |
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存储容量 |
1800片(6寸wafer) |
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手臂载重 |
1kg |
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定位精度 |
±0.1mm |
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存/取时间 |
6-12s/pcs |
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净化等级 |
class10；100；1000 |
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震动 |
≤0.5G |
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噪音 |
≤75DB |
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UPS |
断电后半小时供工控机上传资讯，操作系统正常关闭 |
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通讯方式 |
SECS/GEM (E82/E88) |
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静电防护 |
防静电处理材质储位，表面阻值106-1011Ω |
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温度湿度 |
控制范围: 温度20-25°C，相对湿度10~45%RH |
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EFEM |
可对接AMR/OHT |
一物一码一储位”实现无人化、准确化、
智能化管理
双机械手协同作业，更高效率出入库拣选，
物料自动批量存取
提升物料拣选准确率和准确度，
降低劳动强度与晶圆人为损耗
搭载FFU，符合半导体车间洁净等级要求
多种出入库对接模式，
从容应对各场景不同物料的输送需求
定制智能看板，数据智能可视
